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    等离子清洗机

    PDC200/210/510
    等离子清洗机特点:
    RIE模式标配(DP切换为选购)等离子的均应性高操作简单的液晶触摸屏控制面。

    等离子清洗机用途:
    CSB/BGA/COB基板的等离子处理有机膜和金属氧化膜的除去印刷电路基板的干洗界面活性处理

    型号PDC200PDC210PDC510
    模式RIE模式(DP选配)DP/RIE切换方式
    电极制造平行平板电极(固定)
    频率13.56MHz
    控制方式自动联动液晶触摸屏控制
    反应室材质
    反应气体2系统(Ar/02)
    充填气体N2/洁净干燥空气
    反应气体流量控制流量计聚合控制器聚合控制器
    真空泵另行选配油回旋真空泵(排气量345L/min)油回旋真空泵(排气量500L/min)
    气体导入口反应气体2套、填充气体1套
    高频输出功率Max.300WMax.500WMax.500W
    温度设定方式用上下键进行数码设定
    反应室尺寸(mm)400×250×150400×250×150500×300×200
    电极尺寸(mm)250×170250×170400×200
    外形尺寸(mm)540×600×600540×600×600700×700×700
    电源(50/60Hz)单相AC100V 15A3相AC200V 15A3相AC200V 15A