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    等离子灰化机

    PR300/301

    等离子灰化机性能特点:
    等离子灰化机:大口径石英工作仓配备,小型一体化设计,操作简单的触摸屏控制面板  

    等离子灰化机性能用途:
    硅晶圆表面光刻胶残留物的灰化
    零部件清洗
    界面活性处理
    微量研磨
    基板的表面处理

    等离子灰化机性能规格:
    型号PR300PR301PR500/PR510
    同调方式手动2轴同调方式自动调谐
    反应槽3室超硬质玻璃φ64×160mm×31室超硬质玻φ118×160mm石英制φ215×305mm
    加热器不锈钢线圈加热器手动/触摸屏联动控制
    配管材质SUS不锈钢、特佛伦、铜、铜合金SUS不锈钢、特佛伦
    方式DP方式
    频率13.56MHz
    反应气体1系统2系统
    外形尺寸
    (W*D*Hmm)
    438×520×556mm438×520×656mm438×520×760mm
    输出功率Max.300WMax.500W
    价格:请问询